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江蘇集萃華科智能裝備科技有限公司
測量裝備
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復雜零件
高效精密三坐標測量機Power Blade
Power Blade測量機裝配自主知識產(chǎn)權的“準正”控制器和DAYUMETRIC軟件,突破運動(dòng)機構幾何誤差、復雜曲面接觸運動(dòng)掃描誤差、空間曲線(xiàn)測針半徑補償誤差、數據處理和形狀分析精度和葉緣形狀判斷量化標準五大關(guān)鍵技術(shù),提供葉片/葉盤(pán)高效高精測量的完整解決方案。
面向復雜曲面零件高精高效測量專(zhuān)機
獨創(chuàng )精度誤差補償技術(shù)
符合航空工業(yè)標準
系統精度優(yōu)于2.5+2.5L/1000微米
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面向3C行業(yè)的
高精度光學(xué)三維形貌測量?jì)x
快速精準實(shí)現三維形貌、截面輪廓、GD&T尺寸、粗糙度、2D圖像尺寸測量等一系列分析功能,提供全棧式測量方案。
實(shí)現測量軟件、控制器等核心技術(shù)自主可控
擁有國外最高等級測量設備的精度,但成本顯著(zhù)降低
綜合測量精度0.8μm
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面向IC行業(yè)的
高精度晶圓綜合測量?jì)x
用于晶圓厚度、TTV、Bow、Warp、RST、wafer上薄膜厚度、3D形貌、BUMP、關(guān)鍵尺寸、粗糙度等參數測量,整體設備模塊化定義并可滿(mǎn)足客戶(hù)個(gè)性化定制需求。
實(shí)現測量軟件、控制器等核心技術(shù)自主可控
相較國外主流設備,測量功能及精度相當,價(jià)格顯著(zhù)降低
形成半自動(dòng)、全自動(dòng)兩款產(chǎn)品
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